一、硅烷（SiH4）的化学特性

  1、硅烷（SiH4）可以通过热分解或与其它气体的化学反应制得单晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物质。
例如：半导体行业中，硅烷（SiH4）是显示屏制造中最关键的气体之一，与氨气（NH3）结合使用，形成用于a-Si晶体管的氮化硅层；与氧化亚氮（N2O）结合使用形成MO晶体管的氧化硅层。

  2.硅烷(SiH4)的利用可以实现高纯度超精细(可达原子尺寸)的控制和最灵活多变的化学反应，从而将各种含硅材料制成复杂精细的结构满足各种重要这也正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。
二、硅烷特气柜设计要求
  1、因为硅烷(SiH4)的危险性，所以整套系统应该配备惰性吹扫装置，而且应该设置单独的惰性气体钢瓶(比如高压N2)进行吹扫，不得采用管道氮气吹扫。
  2、硅烷(SiH4)与空气会自燃，柜内应配备气体泄露侦测器、火焰探测器等当发生泄漏时，能及时报警处理，避免更大的事发生。
  3、硅烷系统的排气管不得接入排风系统，硅烷和硅烷混合物排气系统应该独立于其它气体排气系统。
  4、如果排气的硅烷(SiH4)浓度较高时，应采用燃烧式尾气处理装置处理后排入大气。
  5、由干存在通过系统的周定惯性气流，要设有防止回流装置
  6、排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m/S。

三、硅烷管道要求

  1、硅烷特气管道安装一般优先选用管道系统是316或316L无缝EP级不锈钢，其内外表面极其光亮，且具有焊接结构，额定压力为最大运转压力的1.5倍，在三倍的正常传输压力到最 大额定压力之间用氨检漏，理想的系统应该全部是焊接的。
  2、洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。
  3、硅烷特气管道系统上不允许使用衬垫阀。只能使用无衬垫膈膜阀或波纹管阀。在所有的配送系统上都应安装流量控制阀或流量开关，以便在流线型破梨的情况下切断气流。这个切断阀应该尽可能接近气源。
  4、在硅烷设施中，所有的气体管道、阀门和功能性组件都要贴上标签，说明它们的用途管道上的标签应当说明气流方向和气体类型。